ニュースリリース
第22回マイクロマシン/MEMS展」出展について

2011年7月6日
富士電機株式会社

 富士電機株式会社(本社:東京都品川区、代表取締役社長:北澤通宏)は、7月13日(水曜日)・14日(木曜日)・15日(金曜日)の3日間、『東京ビッグサイト』に於きまして「第22回マイクロマシン/MEMS展」に出展いたします。
 マイクロマシン/MEMS展は、世界最大規模のMEMS(注1)、超精密・微細加工、ナノテク、バイオに関する国際見本市です。
 富士電機ブースでは、MEMSファンドリーサービスの紹介と、MEMSを搭載した当社製品の展示を行います。
 ご多忙とは存じますが、皆様の来場を心よりお待ち申し上げております。

(注1)

MEMS(Micro Electro Mechanical Systems): 
微小電気機械システム。シリコンウエハの上に小さなセンサーやアクチュエーターを製作する技術、また製作した製品

主な展示品

  • MEMSファンドリーサービスのご紹介
    当社が長年培ってきた超微細加工技術で製作したMEMSのサンプル品を展示いたします。

  • MEMS応用製品のご紹介
    MEMSセンサー搭載の建物診断用感振センサーなど、当社MEMS応用製品を展示いたします。

以上