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世界初の電池式ガス警報器を実現したMEMSガスセンサ

  • 先端技術研究所
  • パワエレ)インダストリ―ソリューション
  • 安全・安心
  • 従来の1/1000以下という超低消費電力化
  • 5年間の長期信頼性
  • MEMS量産技術を確立

従来の家庭用都市ガス警報器は100Vのコンセントにつないで使用する制約があって普及が進んでおらず、都市ガス警報器の電池駆動によるコードレス化が強く望まれています。

富士電機は長年培ってきたMEMS技術でセンサを超小型化することで、センサの消費電力を従来の1/1000以下という、超低消費電力化に成功しました。さらに、長期信頼性および量産技術を確立、世界初の電池式ガス警報機を実現しました。

この技術は環境計測や医療などの他分野への応用展開も期待できます。

外観写真:ガス感応部をMEMSで毛髪径程度に微細化

断面模式図:高感度なSnO2薄膜に選択燃焼層を積層

基本性能の図:従来品と同等以上の高感度・高選択性

電池式都市ガス警報器

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キーワード

  • 計測・センサ
  • MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)
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