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車載向け圧力センサ

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  • センサと信号処理回路を1チップに集約し小型化
  • 車載デバイスに必要なノイズ耐性
  • 独自MEMS技術による高精度なセンサ

ピエゾ抵抗センサゲージ、増幅回路、過電圧保護回路、ノイズ対策回路と断線故障検知回路を1チップに集約し、接続部品点数を低減することで高い信頼性と小型・軽量化を実現しています。

エンジン制御用の他、燃料タンクの漏れ検知、排気系の圧力検知などにも用いられ、車載用途としてノイズ耐性の他、燃料・腐食ガス耐性など搭載環境への適合性も高めています。

独自のMEMS技術により加工したセンサゲージの薄膜ダイアフラムと、デジタル方式の特性補償回路により、高精度な検知を実現しています。

センサ、信号処理回路、EMC/過電圧保護素子を1チップに集約

製品外観(標準セル)

製品外観(外装ハウジング)

上位システムとの断線故障検知機能

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キーワード

  • 計測機器
  • 半導体ピエゾ抵抗式圧力センサ
  • ワンチップセンサ
  • ノイズ
  • 鉛フリーはんだ 富士電機グループの環境問題への取り組み
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