富士時報

第62巻第5号（1989年5月）

特集論文

クリーンルーム関連技術の現状と展望

嶋津　和雄

精密･超精密加工技術の進歩とともに､クリーンルームにおける高度化の要求は､半導体製造プロセスを中心により強くなってきている｡一方､従来クリーンルームを必要としなかった工業分野､バイオ分野でもクリーンルームの導入が計画され､使用され始めている｡
このように､画的広がり(分野の広がり)と縦への広がり(高度化)を持つようになったクリーンルーム関連技術の現状と展望を解説し､併せて最近の規格の動向､コンピュータシミュレーションによる気流･じんあい分布解析の動向についても触れている｡

超高清浄度クリーンルーム

難波　泰明，諏訪　延行，数見　英樹

クリーンルームは多くの分野で利用され､その目的に合わせて機能も分化してきている｡
本稿では､超LSI工場で要求されるスーパークリーンルームについて､その技術動向を概説し､代表的なクリーンルームシステムの比較を行い紹介する｡また､富士電機の取り組み姿勢と特長あるハードウェア､システムについても述べる｡

最近のバイオロジカルクリーンルーム技術

日下　　豊，高橋　武男，滝沢　　浩

薬品､医療､食品などの分野において､微生物の制御を行うバイオロジカルクリーンルームの導入が盛んである｡最近のバイオテクノロジーの進歩や､自然食,無添加食品ブームなどが､作業場のクリーン化を一段と加速している｡
本稿では､バイオロジカルクリーンルーム技術の概要を述べるとともに､納入例の一部を紹介する｡

クリーンルームの気流シュミレーション

金山　　寛，寿上　宏司

近年､CIM(Computer Integrated Manufacturing)などによる効率化が進められているが､その一方で比較的標準化の難しい新製品開発過程における試作の占める時間･費用比率が増加する傾向にある｡この問題の対策の一つとして､CAE(Computer Aided Engineering)による試作回数･工数の削減が挙げられる｡本稿では､CAEの具体的な例として､富士電機におけるクリーンルームの気流解析ツールとして開発された有限要素法による非圧縮性粘性流汎用解析プログラムBERPAXの特徴を適用例を交えて解説する｡

最近のクリーンドラフトチャンバ

中山　　勉，佐藤　清人，高橋　武男

クリーンルームの膨大な運転経費を削減するためのかぎとなるハードウェアであるクリーンドラフトチャンバの最近の動向について述べる｡運転経費の削減にはドラフトチャンバの排気風量低減が最も有効である｡これは洗浄槽から立ち上る蒸気を以下に少ない風量で押さえ込むかにかかっている｡手法には､(1)洗浄槽真上に水平方向にエアカーテンを設けて蒸気を水平方向に排出する法､(2)洗浄槽真上にこれを取り囲んで吸引フードを設けて蒸気を吸い取る法､がある｡後者の手法を使った薬液濃縮用及びウェットステーション用ドラフトチャンバをも紹介する｡

普通論文

米国オクスボウ社向け60.5MW地熱発電設備

山田　茂登

米国オクスボウ社向けに1987年1月に受注した60,5MW地熱発電設備について紹介する｡
本機は､地熱用としては富士電機最大容量機であり､世界最大級の658mm地熱用低圧翼を採用しているほかに混圧反転流式タービン及び直接接触形複圧式復水器の二つの新技術が採用されている｡これらの特長はこの2年間の富士電機の受注を大きく伸ばした一因であるとともに､今後の商談における大きなセールスポイントともなるものである｡

原子力発電所などで働く作業者の体内被ばく実効線量当量評価方法の開発

武内　信義，江本　武彦，松村　邦博

原子力発電所などの放射線管理の現場で､放射線作業者の体内被ばく量を特定の期間の実効線量当量として求める方法を､ICRPのPub1.30による勧告に基づいて開発した｡この方法は近似解を導出し､パーソナルコンピュータにより評価するものである｡
また､この近似解による方法を大形コンピュータを用いた数値計算により､適用範囲を幾つかの核種について評価した｡その結果､例えば¹³⁷CsなどのクラスDのもので約3日､⁶⁰CoなどのクラスYのもので約3か月以上の評価期間があれば十分な精度が得られ､実用に適していることがわかった｡

中小容量オザナイザの系列化とその応用

酒井　英治，三井田秀夫，石垣　　佶

オゾンの急速に拡大する適用ニーズの多様化に対応して､高信頼性でエネルギー効率のよい､中小容量のオゾナイザ5機種を系列化した｡これらは独自のガラス溶着式発生管の採用で､冷却効率と放電間隔精度の向上によるエネルギー効率の向上並びに発生量の安定化が達成された｡この成果は富士電機が先に確立した大容量オゾナイザ技術を中小容量形に適用して完成したもので､多様化ニーズに対応できる｡本稿では､本シリーズのオゾナイザの特徴､性能､仕様について述べ､更に応用例を紹介する｡

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