

ケミカル製品
空気中のケミカル汚染物質が製品歩留に影響する場合があります。当社では、分析・評価から対策機器のご提供まで、ケミカル汚染対策をトータル的にサポートします。
ケミカルフィルタ
| 対象物質 | 吸着素材 | 吸着剤 | |
|---|---|---|---|
| 室内循環用 | 有機 | 炭素質吸着剤(活性炭) | |
| アンモニア | 炭素質吸着剤(活性炭) イオン交換繊維 |
硫酸亜鉛 スルホン酸基 |
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| 酸 | 炭素質吸着剤(活性炭) イオン交換繊維 |
炭酸カリウム 四級アンモニウム基 |
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| リン、ボロン | イオン交換繊維 | 三級アミノ基 | |
| 外気処理用 | 有機 | 炭素質吸着剤(活性炭) | |
| アンモニア | 炭素質吸着剤(活性炭) | リン酸 | |
| 酸 | 炭素質吸着剤(活性炭) | 炭酸カリウム |

ケミカルフィルタ搭載FFU
当社FFU は、ケミカルフィルタをFFU の上部、内部、下部に設置する3タイプを用意しています。

ハニカムウォッシャー
外調機に設置し、外気に含まれる水溶性のアンモニア(NH3)、硫黄酸化物(SOX)、窒素酸化物(NOX)等を純水に溶け込ませて除去します。
吸水性の高い繊維質セラミックろ材を採用し、除去性能と省エネルギーを両立させています。

