製品情報 - クリーンルーム

クリーンテクノロジー

豊富な実績とノウハウに基づいた確かな技術で、お客様に最適な機器・システムをご提案します。

FFU

装置搭載用FFU
システム天井FFU

クリーンルームや半導体・液晶等の製造装置に搭載し、清浄度を確保する機器です。豊富なラインナップを取り揃えています。

環境監視システム
総合監視システム

クリーンルームのパーティクル・温度・湿度・差圧等を常時モニタリングし、品質向上や歩留向上に貢献する機器です。

環境センサー
風向風速センサー[近日発売予定]

クリーンルーム環境（パーティクル・温度・湿度・差圧等）や気流の流れを計測するセンサーです。

精密温調装置
クリーン冷却装置

高精度な温湿度制御が可能な温調装置と、大風量FFUと冷却コイルをユニット化した装置です。

簡易クリーンルーム
クリーンブース・ベンチ

手軽に安価にクリーンルームを実現する装置のご紹介。クリーンブースは最大3m角まで対応。

薄型エアシャワー
安全防爆エアシャワー

清浄なエアの吹き出しにより、衣服についた塵埃・細菌を除去する装置。エアロックの役割も果たします。

ケミカルフィルタ
フィルタ搭載FFU

ケミカル汚染の主因である酸、アルカリ、有機ガス等を除去するフィルタです。製品の歩留り向上に貢献します。