センサー

1台のセンサーで、清浄度・温湿度などのクリーンルーム環境を計測できます。

クリーンルーム環境センサー（F-Planet）

分散配置したクリーンルーム環境センサを、手軽に集中モニタリングできます。

今までは・・パーティクルカウンターを持込んで、測定ポイントを回って計測、記録、集計を行っていました。

これからは・・清浄度を含めたリアルタイム監視が可能になります。
測定ポイントに配置されたクリーンルーム用センサーで、データを自動収集し、記録、集計、帳票作成まで自動化できます。傾向を確認したり、環境悪化時に警報することも容易です。

風向・風速センサー　近日発売予定！

高清浄度エリアの開口部付近など、逆流してはならない気流をリアルタイムで監視！

+2.0 〜 -2.0m/s の風速を、風向の正逆を含めて測定可能

RS485 準拠の通信インターフェイスを標準搭載

監視システムと組み合わせることにより、クリーンルームの状態を一元的に管理可能

4〜20mAのアナログ信号出力が可能

パーティクル・温湿度・差圧センサー等のアナログ入力機能を持つ機器やシステムと組み合わせる事により、風速データを監視システムに送信することが可能

センサー適用例

クリーンルーム環境センサは、局所空間から大規模空間まであらゆる用途で使用できます。

• 所定空間の環境（清浄度、温度、湿度）傾向管理
• 作業者、生産装置、搬送装置などの発塵管理
• 作業者、搬送装置の移動による塵埃の巻上げ管理
• 清浄度管理による省エネ制御（ＦＦＵ、外気取込ダンパ制御など）