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クリーンテクノロジー

製品情報

センサー

1台のセンサーで、清浄度・温湿度などのクリーンルーム環境を計測できます。

クリーンルーム環境センサー(F-Planet)

分散配置したクリーンルーム環境センサを、手軽に集中モニタリングできます。

いままで と これから

今までは・・パーティクルカウンターを持込んで、測定ポイントを回って計測、記録、集計を行っていました。

これからは・・清浄度を含めたリアルタイム監視が可能になります。
測定ポイントに配置されたクリーンルーム用センサーで、データを自動収集し、記録、集計、帳票作成まで自動化できます。傾向を確認したり、環境悪化時に警報することも容易です。

特徴

パーティクル量、温度、湿度、差圧を1台のセンサーで計測する複合センサー

パーティクル対象粒径 0.3μm、1.0μm / 0.5μm、1.0μmの2種

RS485準拠の通信インターフェースを標準装備

監視システムと組合せてクリーンルームの状態を一元的に管理

外部アナログ入力(1チャンネル)付

アナログ出力付きの風速センサーなどの信号をA/D変換して、 監視システムに取り込み可能

吸引機構にファンを採用し、寿命が10万時間超と長寿命

パーティクルレーザーの出力低下や吸引量の低下などの異常をリアルタイムに出力する自己診断機能の搭載により長期にわたり安心して使用が可能


センサー適用例

クリーンルーム環境センサは、局所空間から大規模空間まであらゆる用途で使用できます。

  • 所定空間の環境(清浄度、温度、湿度)傾向管理
  • 作業者、生産装置、搬送装置などの発塵管理
  • 作業者、搬送装置の移動による塵埃の巻上げ管理
  • 清浄度管理による省エネ制御(FFU、外気取込ダンパ制御など)
センサー適用例
     

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