監視システム

クリーンルーム内に分散配置した環境センサーと監視システムで、清浄度などのリアルタイム監視が可能になります。
歩留に直結する清浄度を常時モニタリングし、クリーンルームを最適運転することで、歩留、品質、コストパフォーマンスを同時に向上させる次世代クリーンルームシステムを提案します。

クリーンルーム環境監視システム（F-Site）

分散配置したクリーンルーム環境センサを、手軽に集中モニタリングできます。

計測データの現在値、故障を表示します。設定値異常、センサの自己診断異常を色替えで表示します。

複合センサで測定した「湿度」「温度」「パーティクル」の測定値を、時系列にグラフ表示します。

清浄度、温湿度を監視しながら風量を制御し、クリーンルームを最適運転できます。歩留、品質の向上と省エネルギーを両立させることが可能です。

クリーンルーム環境を監視しつつ、風量をコントロールできます。

DC-FFU等の機器・設備、清浄度・温湿度等のクリーンルーム環境を一元的に常時モニタリングします。

センサーを分散設置し、トレンドで傾向をつかみ、環境変化を早期に対策することができます。

トレンド、警報履歴画面で歩留まり悪化時のデータを参照できるので要因検討をアシストします。

運転、停止、故障、速度、保守の表示と設定及びフロア、ロケーションの表示をします。

FFU 個別設定画面

環境センサで測定した「湿度」「温度」「パーティクルカウント値」を、フロアのグラフィックイメージと共にリアルタイムに表示します。