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クリーンテクノロジー

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環境監視システム [ F-Site ]

F-Siteシリーズ「クリーンルーム環境監視システム」は、クリーンルームのパーティクル、温度、湿度、差圧、アナログ入力をリアルタイムにモニタリングし、品質向上に貢献するシステムです。

F-Site

F-Site
価格¥187,000 (税別)
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CPU RISC型CPU(富士電機IMM-Cモジュール)
インターフェース 上位側
(パソコン等)
Ethernet 10BASE-T(RJ-45汎用LANケーブル使用)
TCP/IP、UDP/IP、FTP(クライアント)、HTTP、SMTP、ICMP、ARP/RARP、DHCP(クライアント)
下位側
(環境センサ)
RS-485(RJ-45汎用LANケーブル使用)
環境センサ専用プロトコル
環境センサ接続数:最大30台
電源 AC100V、50/60Hz、5W(ACアダプタ)
外形寸法 68(W)×150(D)×24(H)[mm]

環境センサー [ F-Planet ]

F-Planetシリーズ「クリーンルーム環境センサー」はクリーンルーム環境をリアルタイムにモニタリングし、品質向上に貢献するセンサーです。

CPSHTPSA-00

CPSHTPSA-00
価格¥430,000 (税別)
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形式 CPSHTPSA-00 表示 LCD 測定値、モード表示等
パーティクル
センサ
方式 側方散乱光検出方式 通信 電気的仕様 RS485準拠
粒径区分 0.3/1.0μm(同時計測) 通信速度 9600bps
可測濃度 最大70.000個/L 接続距離 総長500m
サンプリング
流量
0.283L/min(0.01CF/min) ケーブル シールド付LANケーブル
(カテゴリ5)
チューブ許容長 1〜3m(基準長2m) 設置環境 周囲温度 0〜40℃
温度センサ 測定範囲 0〜40℃ 周囲湿度 35〜80%RH(結露しないこと)
湿度センサ 測定範囲 35〜80%RH 電源 AC100V 50/60Hz
差圧センサ
(オプション)
測定範囲 消費電力 25W
外部アナログ
入力
入力範囲 DC4〜20mA×1ch
(AD変換し通信に出力可)
外形寸法 236(W)×169(H)×60(D)(mm)
重量 約1.5Kg

CPSHTPSA-02

CPSHTPSA-02
価格¥450,000 (税別)
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形式 CPSHTPSA-02 表示 LCD 測定値、モード表示等
パーティクル
センサ
方式 側方散乱光検出方式 通信 電気的仕様 RS485準拠
粒径区分 0.3/1.0μm(同時計測) 通信速度 9600bps
可測濃度 最大70.000個/L 接続距離 総長500m
サンプリング
流量
0.283L/min(0.01CF/min) ケーブル シールド付LANケーブル
(カテゴリ5)
チューブ許容長 1〜3m(基準長2m) 設置環境 周囲温度 0〜40℃
温度センサ 測定範囲 0〜40℃ 周囲湿度 35〜80%RH(結露しないこと)
湿度センサ 測定範囲 35〜80%RH 電源 AC100V 50/60Hz
差圧センサ 測定範囲 0〜50Pa 消費電力 25W
外部アナログ
入力
入力範囲 DC4〜20mA×1ch
(AD変換し通信に出力可)
外形寸法 236(W)×169(H)×60(D)(mm)
重量 約1.5Kg

CPSHTPSA-10

CPSHTPSA-10
価格¥430,000 (税別)
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形式 CPSHTPSA-10 表示 LCD 測定値、モード表示等
パーティクル
センサ
方式 側方散乱光検出方式 通信 電気的仕様 RS485準拠
粒径区分 0.5/1.0μm(同時計測) 通信速度 9600bps
可測濃度 最大70.000個/L 接続距離 総長500m
サンプリング
流量
0.283L/min(0.01CF/min) ケーブル シールド付LANケーブル
(カテゴリ5)
チューブ許容長 1〜3m(基準長2m) 設置環境 周囲温度 0〜40℃
温度センサ 測定範囲 0〜40℃ 周囲湿度 35〜80%RH(結露しないこと)
湿度センサ 測定範囲 35〜80%RH 電源 AC100V 50/60Hz
差圧センサ
(オプション)
測定範囲 消費電力 25W
外部アナログ
入力
入力範囲 DC4〜20mA×1ch
(AD変換し通信に出力可)
外形寸法 236(W)×169(H)×60(D)(mm)
重量 約1.5Kg

CPSHTPSA-12

CPSHTPSA-12
価格¥450,000 (税別)
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形式 CPSHTPSA-12 表示 LCD 測定値、モード表示等
パーティクル
センサ
方式 側方散乱光検出方式 通信 電気的仕様 RS485準拠
粒径区分 0.5/1.0μm(同時計測) 通信速度 9600bps
可測濃度 最大70.000個/L 接続距離 総長500m
サンプリング
流量
0.283L/min(0.01CF/min) ケーブル シールド付LANケーブル
(カテゴリ5)
チューブ許容長 1〜3m(基準長2m) 設置環境 周囲温度 0〜40℃
温度センサ 測定範囲 0〜40℃ 周囲湿度 35〜80%RH(結露しないこと)
湿度センサ 測定範囲 35〜80%RH 電源 AC100V 50/60Hz
差圧センサ 測定範囲 0〜50Pa 消費電力 25W
外部アナログ
入力
入力範囲 DC4〜20mA×1ch
(AD変換し通信に出力可)
外形寸法 236(W)×169(H)×60(D)(mm)
重量 約1.5Kg

     

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