富士電機
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クリーンテクノロジー

ソリューション

富士電機は、独自の動的気流制御技術を駆使し、半導体製造業界や液晶製造業界でクリーンルーム建設・プロセス改善に貢献してきました。

また、自動車製造業界、医薬品製造業界、食品製造業界、IDC業界等の分野においても、動的気流制御技術を基盤として、様々なソリューションを提供しています。

自動車・IDC・医薬品・半導体・液晶・食品

省エネルギー

クリーンルームの
省エネ化を
実現したい!

熱源から、搬送、装置までシステム全体で省エネを実現します

  1. 熱源システムの最適化
    ・熱負荷の削減・熱回収システムの採用
    ・高効率冷凍機・ボイラの採用
  2. 搬送システムの最適化
    ・送風量の削減・搬送抵抗の低減・最適機器の採用
  3. 装置の最適化
    ・DC ブラシレスモータ搭載FFU・統合監視システム
    ・局所クリーン化

システム天井用FFU
FFU(F-Cube)
クリーンルーム監視システム

歩留まり向上

安定的な製造と
歩留まり向上を
実現したい!

クリーンルーム用センサーと監視システムで実現します

  1. クリーンルームリアルタイム
    ・歩留まりに直結する清浄度はもちろんあらゆる要因を監視
  2. トレンド分析
    ・センサーを分散配置し、トレンドを分析。環境変化にいち早く対応。
  3. 最適運転システム
    ・統合監視システムにより最適運転
    ・歩留まり・品質向上だけでなく省エネルギーにも貢献

クリーンルーム監視システム クリーンルーム統合監視システム
クリーンルーム環境センサー(F-Planet) 

局所クリーン

局所クリーン
化生産方式を
導入したい!

装置搭載用FFU、専用設計で対応します

  1. 装置搭載用FFU
    ・お客様の要求仕様にあわせた専用設計により
    ジャストフィットした製品をご提供
    ・装置搭載を考慮した、薄型・省電力設計
    ・高クリーン

装置搭載用FFU

省メンテナンス・省ランニングコスト

メンテナンスが
容易に行える
クリーンルームを
実現したい!

クリーン冷却装置方式をおすすめします!

クリーン冷却ユニット(大風量FFU と冷却コイルをユニット化した装置)

  • システム天井を施工せずに、天吊方式とすることでクリーンルームを低価格・短工期で実現
  • 天吊方式のため、災害リスクの低減、安全対策費用の大幅コストダウンを実現

クリーン冷却装置

     

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