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熱伝導ガス分析計

熱伝導ガス分析計

H2,Ar,Heガス濃度測定に最適な熱伝導ガス分析計
形式 : ZAF

  1. 見易い大形LCD表示
  2. パソコン通信もできます
  3. 小形サイズのパネル取付構造
  4. ゼロ・スパン点の自動校正機能(オプション)
  5. 他ガスの干渉影響補正演算(オプション)
  6. ガス濃度警報出力(オプション)
    上・下限警報、上・上限警報、下・下限警報出力のいずれか選択可能
  7. レンジ切替え(オプション)
    前面キー操作で切替えまたは外部からの接点入力で切替える方式。
    レンジ比: H2,He測定で 1:10まで
    Ar,CH4,CO2測定で 1:5まで
  8. 測定出力信号のリニアライズ(オプション)

用途

  • 半導体装置のH2ガス濃度測定
  • 水素発生装置のH2ガス濃度測定
  • 焼成炉のH2ガス濃度測定
  • ガス発生プラントのAr,He,CH4濃度測定
  • 超電導装置のHeガス濃度測定
  • 空気分離プラントのArガス濃度測定

測定原理

熱伝導ガス分析計は、2成分ガスの異なる熱伝導率を利用してガス濃度を測定します。 検出器の内部には比較室と測定室があり各々内部に細い白金線が張られています。 比較室には比較(基準)ガスを封入します。 白金線は外部固定抵抗と組合せてブリッジ回路を形成し、各白金線には一定の電流を流し加熱します。 測定成分に濃度変化があると試料ガスの熱伝導率が変化し、測定室の白金線の温度に変化を与えます。 この温度変化を電気抵抗変化として取出し測定ガス濃度を算出します。

主な仕様




測定方式 熱伝導式
測定成分 He、Ar、H2、CH4、CO2
測定範囲 H2 : 0~3 ‥‥ 100%,100~90,100~80%
He : 0~5 ‥‥ 100%,100~90,100~80%
Ar : 0~10 ‥‥ 100%,100~90,100~80%
CH4 : 0~20 ‥‥ 100%,100~80%
出力信号 DC4~20mA、DC0~1V、DC0~10mV 非絶縁出力(いずれか1点形式指定による)
許容負荷抵抗 550Ω以下(DC4~20mA出力時)
出力抵抗 100kΩ(DC0~1V、DC0~10mV時)
表示器 バックライト付LCD
測定値表示 最大4桁または小数点2桁付
出力信号ホールド 手動校正、自動校正時に校正直前の出力値を保持
電源電圧、消費電力 AC100~240V 50/60Hz、約50VA
周囲温度・湿度 -5~45℃、90%RH以下(結露なきこと)
取付方法 パネル埋込式
外形寸法(H×W×D) 240×192×213mm
質量 約5kg
外被形式 鋼板製ケース、室内形
ガス出入口、パージ口 Rc1/4またはNPT1/4(指定による)
パージガスの流量 約1L/min(必要により行う)

繰返し性 ±1%FS
ドリフト ゼロ点:±2% FS/週 以内(H2計)
スパン点:±2% FS/週 以内(H2計)
応答速度
(90%応答)
標準:60秒以内(0.4L/min流通時)
高速:10秒以内(1L/min流通時)
但し、H2計(比較ガスN2)のみ可







温度 0~50℃
ガス流量 0.4±0.05L/minで一定のこと
ダスト 0.3μm以下の粒度で100μg/Nm3
圧力 10kPa以下
ミスト、腐食性ガス なきこと
水分 2℃飽和以下






リニアライズ 測定値出力信号(DC4~20mA)へリニアライズ付加
直線性 ±2%FS以内
リレー接点出力 5点の1a出力
リレー接点容量:AC220V/2A(抵抗負荷)
各接点間および内部回路とはリレー絶縁
次の機能が最大5点まで可能
(1) 自動校正用ゼロ電磁弁駆動出力
(2) 自動校正用スパン電磁弁駆動出力
(3) 自動校正時吸引ポンプOFF出力
(4) 上限(1点)濃度警報出力
(5) 下限(1点)濃度警報出力
(6) 上下限(1点)濃度警報出力
(7) 上限(1点)及び下限(1点)濃度警報出力
(8) 上限2段(各1点)濃度警報出力
(9) 下限2段(各1点)濃度警報出力
(10)分析計異常または自動校正異常警報出力
(11)校正中出力
(12)レンジ情報出力
接点入力 3点の無電圧接点入力
ON:0V、OFF:DC5V、ON時電流5mA
内部回路とはフォトカプラ絶縁、接点入力間は非絶縁
次の3点ができる。
(1) リモート測定値出力ホールド
(2) リモートレンジ切換(2レンジ計のみ)
(3) リモート自動校正スタート
干渉ガス測定値入力 H2計干渉用アナログ入力(DC1~5V)
外部ガス分析計のCO2またはCH4のどちらか1成分を入力とする。
弊工場にて調整を必要とします。ご注文時に測定ガスの詳細を確認します。
自動校正機能 ゼロ・スパンの校正をあらかじめ設定した周期で自動的に行う。校正ガスは外部に設けた電磁弁を駆動して順次流す。
通信機能 RC232C(9ピンD-sub出力)
半二重ビットシリアル、調歩同期式
MODBUSプロトコル、通信速度9600bps
通信内容:測定濃度値、各種設定値読み書き、機器ステータスの出力

ガス分析計シリーズ 一覧

煙道排ガス用NOx,SO2,CO,CO2,O2 ガス分析装置ZSU形

煙道排ガス用NOx,SO2, CO,CO2, O2 ガス分析装置ZSU形

長期安定性に優れたダブルビーム赤外線方式で最大5成分のガス濃度を連続測定できます。 計量法型式承認取得品です。

煙道排ガス用NOx,SO2,CO,CO2,O2 ガス分析装置ZSJ形

煙道排ガス用NOx,SO2,CO,CO2,O2 ガス分析装置ZSJ形

ドリフトが殆どないシングルビーム・サンプルスイッチング赤外線方式で最大5成分のガス濃度を連続測定できます。計量法型式承認取得品です。

煙道排ガス用NOx,SO2,CO,CO2,O2,HCl ばいじんガス分析装置ZSU-7形

煙道排ガス用NOx,SO2,CO,CO2,O2,HCl ばいじんガス分析装置ZSU-7形

環境監視に必要な最大7成分のガス濃度を1台で測定します。
1台のキュービクルに収納しているので省スペース化を実現

ダイオキシン類発生防止対策用CO,O2ガス分析装置ZSQ形

ダイオキシン類発生防止対策用CO,O2 ガス分析装置ZSQ形

ダイオキン類の排出規制に対応した機能を装備したCO,O2ガス分析装置です。 計量法型式承認取得品です。

煙道排ガス用HCl,NH3, O2, CO, CO2, CH4レーザ方式ガス分析計ZSS形

煙道排ガス用HCl,NH3, O2, CO, CO2, CH4 レーザ方式ガス分析計ZSS形

煙道中のHCl,NH3, O2, CO, CO2, CH4ガス濃度を連続測定する直接挿入レーザ方式のガス分析計です。

大気中のエアロゾル複合分析計ZSF形

大気中のエアロゾル複合分析計ZSF形

大気中のエアロゾル(PM2.5)の粒径、粒子数、更にブラックカーボン、硫酸塩、硝酸塩の各成分も同時にリアルタイムで測定します。

直接挿入形ジルコニア式酸素分析装置ZSB形

直接挿入形ジルコニア式酸素分析装置ZSB形

不燃性ガス中の酸素を測定する直接挿入形のジルコニア式酸素計です。

自動車トンネル内CO測定装置ZSA形

自動車トンネル内CO測定装置ZSA形

自動車トンネル内のCO濃度測定を行う測定装置です。

NO,SO2,CO,CO2,O2,N2O,CH4 測定用 赤外線ガス分析計ZKJ形

NO,SO2,CO,CO2,O2,H2S,CH4 測定用 赤外線ガス分析計ZKJ形

ダブルビーム方式の赤外線ガス分析計です。 最大5成分のガス濃度を連続測定できます。

NO,SO2,CO,CO2,O2 測定用シングルビーム赤外線ガス分析計ZPA形

NO,SO2,CO,CO2,O2 測定用シングルビーム赤外線ガス分析計ZPA形

シングルビーム方式の小形/軽量の赤外線ガス分析計です。
最大5成分のガス濃度を連続測定します。

NO,SO2,CO,CO2,O2 測定用シングルビーム赤外線ガス分析計ZPB形

NO,SO2,CO,CO2,O2 測定用シングルビーム赤外線ガス分析計ZPB形

シングルビーム方式(サンプルスイッチング式)の赤外線ガス分析計です。最大5成分のガス濃度を連続測定します。

NO,SO2,CO,CO2,O2 測定用シングルビーム赤外線ガス分析計ZPG形

NO,SO2,CO,CO2,O2 測定用シングルビーム赤外線ガス分析計ZPG形

シングルビーム方式(サンプルスイッチング式)の赤外線ガス分析計です。0~5ppmの低濃度を連続測定します。

NO,SO2,CO,CO2,O2 測定用シングルビーム赤外線ガス分析計ZRE形

NO,SO2,CO,CO2,O2 測定用シングルビーム赤外線ガス分析計ZRE形

シングルビーム方式の小形/軽量の赤外線ガス分析計です。最大5成分のガス濃度を連続測定します。

NO,SO2,CO,CO2,O2 測定用シングルビーム赤外線ガス分析計ZRJ形

NO,SO2,CO,CO2,O2 測定用シングルビーム赤外線ガス分析計ZRJ形

シングルビーム方式の赤外線ガス分析計です。 最大4成分のガス濃度を連続測定できます。

NO,SO2,CO,CO2 測定装置組込み用赤外線ガス分析計ZRC6形

NO,SO2, CO,CO2測定装置組込み用赤外線ガス分析計ZRC6形

コンパクトサイズで装置組込み用の赤外線ガス分析計です。

H2,He,Ar 測定熱伝導式ガス分析計ZAF形

H2,He,Ar 測定熱伝導式ガス分析計ZAF形

H2,He,Arガス濃度を測定する熱伝導式ガス分析計です。

磁気力式酸素計ZAJ形

磁気力式酸素計ZAJ形

高速応答で通信機能を装備した酸素分析計です。可燃性ガス中の酸素濃度測定に最適。

磁気力式酸素計ZKG形

磁気力式酸素計ZKG形

磁気力式酸素計ZKG形

直接挿入形ジルコニア酸素計ZKM形、ZFK形

直接挿入形ジルコニア酸素計ZKM形、ZFK形

ガスサンプリング機器不要の直接挿入形ジルコニア式酸素計です。不燃性ガス中の酸素濃度を測定します。

耐圧防爆形直接挿入形ジルコニア酸素計ZKME形、ZFKE形

耐圧防爆形直接挿入形ジルコニア酸素計ZKME形、ZFKE形

ガスサンプリング機器不要の耐圧防爆直接挿入形ジルコニア式酸素計です。不燃性ガス中の酸素濃度を測定します。

コンパクトタイプガス分析計ZSVF形

コンパクトタイプガス分析計ZSVF形

NOx,SO2,CO,CO2,CH4,O2中から最大5成分のガス濃度を同時に測定するガスサンプリング機器内蔵のガス分析計です。

可搬形ガス分析計ZSVS形

可搬形ガス分析計ZSVS形

CO,CO2,CH4,O2中から最大4成分のガス濃度を同時測定する可搬形ガス分析計です。

熱処理炉用赤外線ガス分析計ZFG形

熱処理炉用赤外線ガス分析計ZFG形

熱処理炉内のCO,CO2,CH4ガス濃度を連続測定するガス分析計です。

赤外線CO2コントローラZFP形

赤外線CO2コントローラZFP形

空気中のCO2濃度を測定しアナログ出力、警報出力を発信する分析計です。

赤外線ガス分析計(ZRG形の代替品)ZKJ7形

赤外線ガス分析計(ZRG形の代替品)ZKJ7形

生産中止品のZRG形と互換性のあるダブルビーム方式の赤外線ガス分析計です。

赤外線ガス分析計(ZRH形の代替品) ZPAH,ZPA1形

赤外線ガス分析計(ZRH形の代替品) ZPAH,ZPA1形

生産中止品のZRH形と互換性のあるシングルビーム方式の赤外線ガス分析計です。

赤外線ガス分析計(ZRJ形の代替品) ZPAJ形

赤外線ガス分析計(ZRJ形の代替品) ZPAJ形

生産中止品のZRJ形と互換性のあるシングルビーム方式の赤外線ガス分析計です。

赤外線ガス分析計(ZRG3:サンプルスイッチング形の代替品) ZPG3形

赤外線ガス分析計(ZRG3:サンプルスイッチング形の代替品)

生産中止品のZRG3形と互換性のあるシングルビーム方式の赤外線ガス分析計です。

ガスサンプリング機器

ガスサンプリング機器

ガス採取器,ガス吸引器,ガス冷却器,ガスろ過器,ガスコンバータ,フィルタ等を取り揃えております。