圧力・差圧発信器
差圧計(流量)発信器の測定原理とセンサ原理
差圧(流量)発信器の測定原理
管路に絞りを入れて、その前後に発生する差圧を検出して流量を測定する。
差圧(流量)発信器のセンサ原理
P 1とP2から圧力がかかるとシリコンダイヤフラムが変位し、コンデンサ電極とシリコンダイヤフラム間の静電容量が変化する。この静電容量の変化は差圧に比例する。
管路に絞りを入れて、その前後に発生する差圧を検出して流量を測定する。
P 1とP2から圧力がかかるとシリコンダイヤフラムが変位し、コンデンサ電極とシリコンダイヤフラム間の静電容量が変化する。この静電容量の変化は差圧に比例する。