富士電機

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圧力・差圧発信器
差圧計(流量)発信器の測定原理とセンサ原理

差圧(流量)発信器の測定原理

差圧(流量)発信器の測定原理

管路に絞りを入れて、その前後に発生する差圧を検出して流量を測定する。

差圧(流量)発信器のセンサ原理

差圧(流量)発信器のセンサ原理

P 1とP2から圧力がかかるとシリコンダイヤフラムが変位し、コンデンサ電極とシリコンダイヤフラム間の静電容量が変化する。この静電容量の変化は差圧に比例する。