富士電機
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富士電機の
設計・製造アウトソーシングサービス
ＭＥＭＳファウンダリーサービス
サービス内容
  • 当社のセンサ製品やインクジェットで培った超微細加工技術をベースに、お客さまの MEMS関連製品・部品の製造をお手伝い致します。
  • シリコンやガラスの簡単な加工から複雑な三次元加工まで、また電子回路への組み込み等 お気軽にご相談ください。
受託可能プロセス
加工サンプル
MEMSﾃﾞﾊﾞｲｽ1 MEMSﾃﾞﾊﾞｲｽ2 MEMSﾃﾞﾊﾞｲｽ3
各種ＭＥＭＳデバイス（４インチウェハ）
MEMSﾃﾞﾊﾞｲｽ1 MEMSﾃﾞﾊﾞｲｽ2 MEMSﾃﾞﾊﾞｲｽ3 MEMSﾃﾞﾊﾞｲｽ3
圧力センサ 光中継素子 歪みゲージ 放射線センサモジュール
主要製造設備
  • 両面露光機
  • PLA
  • ステッパー
  • ラミネータ
  • スピンコータ
  • クリーンオーブン
  • 有機ST
  • 有機ドラフト
  • 有機アルカリドラフト
  • リンサー
  • 酸ST
  • 酸ドラフト
  • 拡散炉
  • RIE
  • プラズマエッチャー
  • 電子ビーム装着機
  • スパッタ
  • 抵抗過熱酸化炉
  • アニール炉
  • マッフル炉
  • 陽極接合装置
  • サンドブラスト装置
  • ダイサー
  • スクリーン印刷機
  • 石英槽
  • 恒温槽
  • 石英恒温槽
  • 乾燥炉
主要測定・評価設備
  • エリプソメータ
  • セミオートプロ-バー
  • 蛍光X線測定器
  • 顕微鏡
  • 走査型電子顕微鏡
  • 投影機
  • セミオートプロ-バー
  • 光学式膜厚計
  • レーザー測定機
  • 顕微鏡
     

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