富士電機
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富士電機の
設計・製造アウトソーシングサービス
ＭＥＭＳファウンダリーサービス
薄膜形成加工
サービス内容
・各種成膜サービス：多種金属膜、絶縁膜、はんだ成膜等ご相談ください。
スパッタリング成膜
電極金属膜Au,Pt,Cr,AI,Ti等
抵抗膜NiCr,PtW,Ta等
配線膜AISi
成膜特性面内バラツキ(φ100)：±5%
装置保有台数3台
スパッタリング装置
電子ビーム蒸着
電極金属膜AI,Ni,Au等
はんだAuSn
成膜特性面内バラツキ(φ100)：±5%
装置保有台数3台
電子ビーム蒸着装置
P-CVD
成膜特性面内バラツキ(φ100)：±5%
装置保有台数4台
P-CVD装置
拡散炉
電極金属膜AI,Ni,Au等
はんだAuSn
成膜特性面内バラツキ(φ100)：±5%
装置保有台数3台
拡散炉
その他
・電解めっき、無電解めっき等についてもご相談ください。
     

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