クリーンルームとは？

　クリーンルームでは、管理運用が正しく行われる必要があります。 クリーンルーム設備をどのように設計しても、 使う側がクリーンルームとして使用しなければ全く意味を成しません。

汚染物を、
　　■持ち込まない。
　　■発生させない。
　　■排除する。
　　■堆積させない。

『持ち込まない』　『発生させない』
　浮遊微粒子発生源である代表例は、紙、木材、布、鉛筆（シャープペン）です。 これらを持ち込み禁止にすることで、「持ち込み」や「発生」を抑えることができます。 しかしながら、大きな発生源である『人』や『生産装置』はなかなか持ち込み禁止にできません。 これらはどのような管理をすればよいのでしょうか。 ひとつの考え方として「発生を極力抑える」があります。 たとえば「人の動作はスムーズに行い、走ったり急な動作を行わない。」 「生産装置の可動部は微粒子が発生しづらい材料を使用する。」といったものです。 また、クリーンルームへの入室の際にエアシャワーを使用することで、 付着した塵埃を極力落とすことができます。

『排除する』　『堆積させない』
　クリーンルーム内で発生した微粒子はいち早く「排除する」必要があります。 また、「堆積」した微粒子はまた舞い上がり、清浄度を低下させる要因となります。 「排除し」「堆積させない」ためには、 クリーンルーム設計時点で換気回数の適切な計画と 運用時点でのクリーン清掃実施で効果を発揮します。 また、クリーンユニットを使用することで特定の換気回数を増やしたり、 集塵ユニット を使用することで特定の微粒子発生箇所の影響を軽減することができます。

　実際に、各産業において汚染物を除きクリーン化する （クリーンルーム建設やクリーンブース設置など）目的は何になるのでしょうか。 　半導体製造など微細な電子回路パターンを作成する工程においては、 空気中に存在する微小粒子（パーティクル）が導体（回路パターン）間に存在すると、 ショートしてしまい必要な回路構成を得ることができません。

　近年では、パーティクル以外にも製品に直接あるいは間接 （生産装置の信頼性を低下させるなど）的に影響を与える 「気中金属」「酸性ガス」「アルカリ性ガス」｢塩基ガス」「ガス分子状物質」 も問題視されております。

　また、クリーンルームの四原則の観点から、 クリーンルーム内で使用される機械装置や部品、材料、原料を製造する産業では、 クリーン環境での生産・梱包が求められます。