富士時報

第78巻第6号（2005年11月）

エネルギーソリューションの現状と展望

大橋　一弘

地球温暖化など環境問題が深刻化している中，京都議定書が発効し，それを受け，かつ世界経済のグローバル化を考慮したエネルギー基本計画が公表され，課題解決のための方策が示され進められつつある。富士電機はエネルギーの発生，流通，消費の一連のサイクルにおいて，電力の「流通」技術を核に，既存の大規模なエネルギーシステムと新エネルギーなど，分散型のエネルギーシステムの調和を目指し，省エネルギー，ESCOをも含めた顧客指向型の総合的なエネルギーソリューションを展開している。

電力系統制御システムの最新技術

高橋　省・吉田　　高・池内　一志

電力系統の監視制御システムにおいては，LAN，WANの技術の進歩により，コンピュータの設置場所を意識しないシステムの構築が可能となっている。これらのニーズに対応した，広域分散型監視制御システム構築のための技術として，広域分散型ミドルウェア，IPネットワーク対応型コンポーネントを紹介する。また，電力の効率運用に寄与する技術として，ニューラルネットワークを適用した予測技術と，設備効率運用を支援する保全技術を紹介する。

エネルギー総合管理システム「Spectrum PowerCC」

宮村　尚孝・中村　正雄・林　　巨己

Spectrum PowerCCは電力自由化によるエネルギー環境の変化とIT社会へ適合したもので，モジュール化されたソフトウェア，エンジニアリングツール，柔軟なプラットフォームなどによりトータルコストダウンを実現している。また，電気事業者，一般需要家に対し電力設備運用管理，エネルギー取引を含む発電機運用管理の機能を提供する。本稿ではこのシステムの特長と適用分野を示すとともに，日本卸電力市場に対応した取引支援機能などの富士電機が独自に開発したアプリケーションと合わせたソリューションについて紹介する。

電力小売自由化に対応した自動検針と電力量計

長島　優・上條　雅之・清水　康司

2000年3月以降の電力小売自由化の進展ならびに電力量計および自動検針の導入状況の概要を紹介し，電力量計と自動検針システムに求められる役目を説明する。自動検針システムについては現状と大口および高圧需要家向けシステム構成を紹介し，導入されている主な通信メディアを説明する。さらに高圧用と低圧用の新型電力量計を紹介する。

分散型エネルギーシステムを支える技術

伊原木永二朗・鈴木　智宏・仁井　真介

分散型エネルギーシステムは，新エネルギーを含めた地域エネルギー供給の安定化を図るもので，電力自由化と環境問題へ対応するための手段として注目されている。本稿では，分散型エネルギーシステムの一つであるマイクログリッドを中心として，富士電機の計測・情報処理技術，同時同量制御技術，安定化対策技術，計量システムおよび配電系統における広域PQ計測システムを紹介する。また，事例として，「京都エコエネルギープロジェクト（KEEP）」を取り上げる。

アモルファスシリコン太陽電池の現状と開発動向

桜井　正博・酒井　利明

ガラスに代わりプラスチックフィルムを基板として，ロールツーロール方式を採用し，量産性に優れたアモルファスシリコン太陽電池を開発したのでその構造（SCAF構造）と製造プロセスを紹介する。また，フレキシブル太陽電池モジュールの特長とフィールド試験結果，および2004年10月に販売を開始した鋼板一体型太陽電池モジュールとフレキシブル太陽電池モジュールの商品形態と仕様，ならびにこれらのモジュールを使用したシステムの設置事例を紹介する。

燃料電池の現状と開発状況

堀内　義実・西垣　英雄・黒田　健一

富士電機が市場投入しているりん酸形燃料電池（PAFC）の現状，燃料電池を利用した水素供給システム，固体高分子形燃料電池（PEFC）の開発状況について述べる。PAFCは1998年から商品機を納入しており，累積運転時間も開発目標の寿命（4万時間）を超えるサイトも増えてきた。近い将来の水素社会に向けて，燃料電池を利用した水素供給システムの開発も手がけている。PEFCは，フィールドテストへ参画し，実サイトでの評価を進め，コストダウンと耐久性向上，量産を目指した開発を加速している。

風力発電の系統連系システム

矢後　賢次・腰　　一昭

風力発電は環境負荷がないことから積極的な導入が期待されており，2010年度における国家の導入目標は300万kWである。しかし，2005年3月時点では93万kWにとどまっている。大きな原因の一つは風力発電の気象依存性による出力変動であり，出力変動による系統連系時の周波数問題，電圧問題の発生が懸念されている。本稿では特に系統連系における周波数問題に焦点をあて，風力発電設備と電力貯蔵装置の組合せによりこの問題を解決できることを，富士電機の実績を含めて紹介する。

省エネルギーソリューションとしてのESCO 事業の実際

福田　英治・上村　　猛・佐藤　　進

省エネルギー対策としてESCO（Energy Service Company）事業が注目されている。計画したエネルギー削減量やCO2削減量が保証されるところにその理由がある。優良なESCO事業を実現するためには，高レベルの省エネルギー手法や省エネルギー・ESCO事業に適合したデータベース構築が必須である。ESCO事業の実際と，それをサポートするデータベース構築手法やシステム事例について紹介する。

電機設備アフターサービスにおける予知保全技術

西山　和男・一石　健三・福島　宗次

電力・産業など各分野で，多種にわたる電機設備が使用されており，設備納入後は長期にわたる安定的かつ低コストの維持管理が要求される。これらに応える予知保全技術とその支援ツールの開発を行うとともに，24時間365日にわたるサービス基盤を強化してきた。その取組みを紹介する。その中でも，「構造化ニューラルネットワークとアンサンブル手法」を適用した「油入変圧器高精度余寿命予測システム」は従来手法の精度幅15年を3年にまで縮め，ライフサイクルにわたる最適運用に大きく貢献する。

クリーンシステム技術の現状と展望

横幕　博行・澤田　朋之

半導体・液晶・医薬品分野の生産工場における歩留り向上，品質確保のために導入されているクリーンルームは，環境対策，イニシャルコスト低減への要求が著しいことに加え，液晶分野では大規模化，半導体分野ではミニエンバイロメント化，医薬分野では薬事法の改正によるバリデーションの強化というように業種別の特徴が顕著になってきている。ここでは業種別の現状と課題，および富士電機のクリーンルーム関連への取組みと今後の展望について述べる。

最新鋭液晶パネル工場向けクリーンルームシステム

高松　武史・松木　幹夫・奥田　耕士

液晶テレビの普及と大型化に伴い，その基幹部品である表示用ガラス基板も大型化の一途をたどっている。そのため，工場の規模・建屋の高さも拡大傾向で，基板の生産空間を清浄化するファンフィルタユニット（FFU）の大型化，吹出し風速の高速化などのニーズが高まっている。本稿では，液晶パネル工場向けクリーンルームの設備構成の技術変遷を紹介し，最新の大規模工場への技術対応やその生産環境を遠隔で監視・制御する統合型システムの動向と開発したシステムの構成，諸機能について述べる。

海外の大型液晶パネル工場向けクリーンルームシステム

峰岸裕一郎・藤瀬　成己・川又　修三

世界中でディジタル放送の普及が進んでいることもあり，液晶テレビの生産増加およびテレビ画面の大型化が活発化しつつある。製造コストを低減するためにガラス基板の大型化が図られているが，これに伴い，製造装置とそれに付随する各設備も大型化するため，必然的に大空間のクリーンルーム工場が必要となり，国内外で大型クリーンルームの建設が盛んに進められている。本稿では，台湾でのTFT-LCD工場の実績と現在建設中である第6 世代基板サイズの工場建設の概要や富士電機の取組みについて紹介する。

医薬品製造ライン用クリーンシステム

松埜周一郎・矢嶋　良一

医薬品の製造環境におけるクリーンルーム（BCR）は，医薬品の品質を確保するため，交差汚染，異物・微生物等混入，作業者に対する保護などを考慮した気流方向・室圧などを検討し，清浄度，無菌性，温湿度条件を含めた適切な製造環境を構成することが求められる。本稿では，医薬品業界向けクリーンルーム機器の中でも特色ある高温乾燥クリーンベンチ，鉛遮へいクリーンベンチについて紹介する。

クリーンルーム用機器の新製品

日下　　豊・岩田　英之・岡垣　義隆

クリーンルームは高清浄度化に伴ってエネルギー消費が増大するため，省エネルギーへの取組みが強化されている。また，歩留り向上，作業効率向上に向けたさまざまな工夫が現場に導入されている。半導体LCD工程の高集積化・高精密化に伴いケミカルガス対策が歩留り向上に重要である。本稿では，最近のクリーンルーム用機器の新製品の中から，ケミカル汚染対策機器，手袋装着装置，高風速エアシャワーについて紹介する。

クリーンルーム環境を定量化する環境センサと環境監視システム

中村　貴之・平本　伸一・小泉　和裕

半導体製造分野における微細化・高集積化，液晶製造分野における高精細化・大型化，医薬品製造分野のGMP，食品製造分野のHACCPなどに従った品質管理の浸透に伴い，クリーンルームの製造環境管理ニーズが拡大している。なかでも清浄度管理は製品の品質向上，歩留り向上においてきわめて重要な管理項目である。本稿では，クリーンルームを常時監視し，パーティクルほかの環境データをトレンド表示で可視化可能にしたクリーンルーム環境センサおよびクリーンルーム環境監視システムを製品化したので紹介する。

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