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LIBSによるインライン成分計測

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近年、FA 分野おいて、生産部材の成分を連続監視したいなどの要求が増えています。そこで、富士電機ではレーザ誘起ブレークダウン分光法(Laser-Induced Breakdown Spectroscopy:LIBS)を用いて、多様な部材の成分をインラインかつ非接触で自動計測する技術を開発しました。

LIBS は被測定物にレーザを照射し、物質から生成するプラズマを分光計測することにより、含有元素量を計測する技術です。

装置構成図

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