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MEMS光スキャナ

  • 先端技術研究所
  • 共通基盤・先端
  • インダストリ―ソリューション
  • 安全・安心
  • 一軸で小型高速駆動
  • 静電方式で低消費電力
  • 回転角をリアルタイムに検知、分解能 ≦ 0.05°

光を使ったセンサデバイスの小型化、高性能化を狙い、MEMS技術を駆使した光スキャナ(レーザ光の方向を制御する光偏向デバイス)を開発している。

ミラー面の材質により紫外から赤外域までの光が利用できる。静電引力によって共振駆動を行い、走査が可能である。主な特徴は、光学走査角:±10度(1kHz)、ミラー面:0.5o□〜5mm□、共振駆動:1〜20kHz、駆動電圧:〜20Vである。

最先端のシミュレーション・加工・組立・配線技術を用い、レーザ光を使った高精度変位計、超小型共焦点拡大内視鏡などへの適用に向け研究開発している。

一軸MEMS光スキャナーのSEM画像

2軸走査用MEMS光スキャナーと共焦点拡大内視鏡先端部

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トピックス

  • 2017年2月 九州大学先端融合医療レドックスナビ研究拠点レドックスナビ研究拠点で共焦点内視鏡用に開発した成果を報告。ニュースレターに掲載。
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