富士電機

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クリーンテクノロジー

製品情報

FFU

システム天井FFU
装置搭載用FFU
FFU

クリーンルームや半導体・液晶等の製造装置に搭載し、清浄度を確保する機器です。豊富なラインナップを取り揃えています。

環境監視システム

環境監視システム
総合監視システム

クリーンルームのパーティクル・温度・湿度・差圧等を常時モニタリングし、品質向上や歩留向上に貢献する機器です。

センサー

環境センサー

クリーンルーム環境(パーティクル・温度・湿度・差圧等)を計測するセンサーです。

クリーン冷却装置

クリーン冷却装置

大風量FFUと冷却コイルをユニット化して工場製作することで、現地施工を大幅に削減し、工期を短縮できます。

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