富士電機

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クリーンテクノロジー

製品情報

センサー

1台のセンサーで、清浄度・温湿度などのクリーンルーム環境を計測できます。

クリーンルーム環境センサー(F-Planet)  開発中

分散配置したクリーンルーム環境センサを、手軽に集中モニタリングできます。

いままで と これから

今までは・・パーティクルカウンターを持込んで、測定ポイントを回って計測、記録、集計を行っていました。

これからは・・清浄度を含めたリアルタイム監視が可能になります。
測定ポイントに配置されたクリーンルーム用センサーで、データを自動収集し、記録、集計、帳票作成まで自動化できます。傾向を確認したり、環境悪化時に警報することも容易です。

特徴

パーティクル量をリアルタイムで連続して計測するセンサー

パーティクル対象粒径 0.3μm,0.5μm,1.0μm, 5.0μm 4粒径同時計測

無線接続により(RS485準拠有線接続も可能)監視システムと組合せてクリーンルームの状態を一元的に管理

各種センサ(温度、湿度、差圧など)と接続可能(オプション無線子機使用にて)

吸引機構にファンを採用し、連続運転で使用しても長寿命

異常(吸引量、レーザー出力低下など)をリアルタイムに出力する自己診断機能搭載により長期にわたり安心して使用可能

センサー適用例

クリーンルーム環境センサは、局所空間から大規模空間まであらゆる用途で使用できます。

  • 所定空間の環境(清浄度、温度、湿度)傾向管理
  • 作業者、生産装置、搬送装置などの発塵管理
  • 作業者、搬送装置の移動による塵埃の巻上げ管理
  • 清浄度管理による省エネ制御(FFU、外気取込ダンパ制御など)
センサー適用例
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