富士電機

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MEMSファウンダリーサービス

サービス内容

当社のセンサ製品やインクジェットで培った超微細加工技術をベースに、お客さまのMEMS関連製品・部品の製造をお手伝い致します。
シリコンやガラスの簡単な加工から複雑な三次元加工まで、また電子回路への組み込み等お気軽にご相談ください。

受託可能プロセス

加工サンプル

各種MEMSデバイス(4インチウェハ)

MEMSデバイス1
MEMSデバイス2
MEMSデバイス3

圧力センサ

圧力センサ

光中継素子

光中継素子

歪みゲージ

マスクアライナ

放射線センサモジュール

放射線センサモジュール

主要製造設備

  • 両面露光機
  • PLA
  • ステッパー
  • ラミネータ
  • スピンコータ
  • クリーンオーブン
  • 有機ST
  • 有機ドラフト
  • 有機アルカリドラフト
  • リンサー
  • 酸ST
  • 酸ドラフト
  • 拡散炉
  • RIE
  • プラズマエッチャー
  • 電子ビーム装着機
  • スパッタ
  • 抵抗過熱酸化炉
  • アニール炉
  • マッフル炉
  • 陽極接合装置
  • サンドブラスト装置
  • ダイサー
  • スクリーン印刷機
  • 石英槽
  • 恒温槽
  • 石英恒温槽
  • 乾燥炉

主要測定・評価設備

  • エリプソメータ
  • セミオートプロ-バー
  • 蛍光X線測定器
  • 顕微鏡
  • 走査型電子顕微鏡
  • 投影機
  • セミオートプロ-バー
  • 光学式膜厚計
  • レーザー測定機
  • 顕微鏡
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