研究開発
研究開発テーマ
車載向け圧力センサ
＃事業部門・生産技術部門 ＃半導体 ＃安全・安心
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センサと信号処理回路を1チップに集約し小型化
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車載デバイスに必要なノイズ耐性
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独自MEMS技術による高精度なセンサ
ピエゾ抵抗センサゲージ、増幅回路、過電圧保護回路、ノイズ対策回路と断線故障検知回路を1チップに集約し、接続部品点数を低減することで高い信頼性と小型・軽量化を実現しています。
エンジン制御用の他、燃料タンクの漏れ検知、排気系の圧力検知などにも用いられ、車載用途としてノイズ耐性の他、燃料・腐食ガス耐性など搭載環境への適合性も高めています。
独自のMEMS技術により加工したセンサゲージの薄膜ダイアフラムと、デジタル方式の特性補償回路により、高精度な検知を実現しています。
センサ、信号処理回路、EMC/過電圧保護素子を1チップに集約
製品外観（外装ハウジング）
製品外観（標準セル）
上位システムとの断線故障検知機能