富士時報

第64巻第2号（1991年2月）

特色ある集積回路技術の研究・開発を

菅野　卓雄

富士電機IC技術の現状と展望

佐賀　　操

富士電機IC技術の現状と展望を概説する｡富士電機のICはシリコンゲートCMOS､バイポーラリニア､Bi-CMOS､DMOSのプロセス技術や高密度実装のための金､はんだバンプ形成技術などを基盤とて､(1)高耐圧､高出力､(2)複合機能化のためのアナログ･ディジタル回路の混在､センサ･ロジックの一体化､などを特長としている｡適用製品にはサーマルヘッドや各種ディスプレイなどの情報関連機器向けをはじめ､自動焦点カメラ､電源､自動車向けなどがある｡その他今後の方向についても言及する｡

CMOSIC技術

古森　敏夫，西澤　正人，酒井　善行

富士電機のCMOSIC技術のなかで､今回は特に高耐圧化技術と多層金属配線技術に的を絞って紹介する｡高耐圧化技術の特長は､通常のCMOSプロセスを大きく変更することなく高耐圧出力段を内臓可能とした点にあり､サーマルヘッド駆動用や液晶パネル駆動用に適した高耐圧IC技術となっている｡また､多層金属配線技術では､SOG法による1.5umスペースの平たん化を実現した2層アルミ配線技術を紹介している｡

高性能Bi-CMOSIC技術

システムオンチップと高速化を可能にする高性能Bi-CMOSのIC技術を開発した｡プロセスの特徴は､(1)フローティングキャパシタ､(2)ドープドポリシリコンエミッタのNPNトランジスタ､が形成できることであり､電圧依存性が小さいキャパシタ､高速のNPNトランジスタを得ることができる｡回路技術としては､全並列形のA-Dコンバータを開発し､Bi-CMOSを用いてコンパレータのオフセット電圧を低減し､精度の向上を図った｡

高耐圧DMOSIC技術

藤島　直人，土屋　和広，多田　　元

富士電機IC技術の特長の一つである高耐圧DMOSIC技術について､その概要を述べる｡特にダブルエピタキシャル技術を用いた400V級DMOS技術ならびに電界緩和技術､ストライプソースによる大電流化技術､さらにDMOSプロセスを用いた高耐圧NPNトランジスタなどについて､そのプロセスと構造の特長､素子特性などを紹介する｡具体的な応用例として､フラットパネルディスプレイ駆動用ICなどがあり､これについても言及する｡

CADシステム技術

本稿では､富士電機のLSI開発用CADシステムの概要について紹介する｡本CADシステムは､プロセス･デバイスシュミレーションをはじめとして､電子回路･論理回路シュミレーション､マスクレイアウト設計および検証といったLSI開発全般にわたってサポートしている｡また､より高機能で複雑なLSI開発を効率よく行うため､機能レベルでの設計やセルベースによる自動レイアウトなど､さらに高度なCADシステムの技術開発を行っている｡

実装技術

白畑　　久，広橋　　修

富士電機ICのバンプ技術と実装技術を紹介する｡バンプ技術ではその技術の特長､バンプの形成法､バンプを適用した実装法の特長を述べる｡また､バンプ実装技術については製品への適用例と今後のバンプ実装技術の動向にふれる｡ICのパッケージについては､パッケージの特長とパッケージ外形の系列化について紹介する｡

オートフォーカスIC

西部　　隆

カメラの自動焦点に用いられるAFICについて､その機種系列､原理､構成について紹介する｡本ICは､被写体の像を二つのホトセンサアレイに結像させ､その映像信号を処理することにより距離情報を得るパッシブ方式のものであって､ホトセンサアレイ､量子化部､演算部を1チップ上に集積している｡量子化部はセンサ応答時間を､特殊なクロックでカウントするものである｡これらにより､(1)小形､(2)測距範囲に制約がない､(3)高倍ズームに対応可能､などの特長を有している｡

サーマルヘッド駆動用IC

斉藤　　実，丸山　宏志，藤本　卓巳

ファクシミリの普及に伴い､サーマルヘッドプリンタの小形化､高密度化が進んでいる｡その主要部品であるドライバICについては､素子の縮小化を図って対応している｡本稿では､富士電機のサーマルヘッド駆動ICのなかから､このたび新たに開発､製品化した2機種のICについて､その特徴､回路動作､電気的特性の概要を紹介する｡

液晶パネル用IC

高木　永次，西尾　春彦

液晶ディスプレイデバイスは､その小形､軽量､薄型､低消費電力といった特長により､電子ディスプレイとしては最も期待されている｡本稿では､その用途からこれを次の三つに分類し､対応する富士電機の液晶パネル用ICの例についてその概要を紹介する｡
(1)　小形単純マトリックス液晶パネル用コントローラドライバ
(2)　大形単純マトリックス液晶パネル用ドライバ
(3)　アクティブマトリックス液晶パネル用ドライバ

スイッチング電源制御用IC

黒田　栄寿，野村　一郎，佐々木　修

スイッチング電源分野では､スイッチング周波数の高周波化に伴い､MOSFET化が進展している｡富士電機ではこれに対応するため､MOSFET対応のスイッチング電源制御用ICを開発した｡本ICは8ピンパッケージにもかかわらず多くの機能を内蔵でしており､電源の小形化､多機能化､低コスト化に大きな効果がある｡本稿では､内部回路､応用回路などを中心に､開発品の概要を紹介する｡

高耐圧大電流インタフェースIC

松田　昭憲，鹿島　雅人，藤本　英俊

本稿では､富士電機の特徴あるIC技術であるBi-CMOSによる高耐圧大電流インタフェースICについて紹介する｡
本ICは､5V系のマイクロプロセッサのデータバスと8ビットパラレルでインタフェースし､リレー､カウンタ､LEDなど各種の24V系制御部品をダイレクトに駆動できるものである｡
本ICは､富士電機の主要製品の一つである自動販売機の電子制御部に搭載しており､現在量産中である｡

LEDプリンタ駆動用IC

佐藤　　満，藤本　卓巳

パーソナルコンピュータ､ワードプロセッサなどの出力装置として､近年急速に市場を拡大しつつある電子写真方式の光プリンタは､高印字品質､高速､低騒音などの点から注目を集めている｡富士電機ではこれにこたえ､光プリンタの一種であるLEDプリンタ駆動用ICを開発､製品化したので､その機能､特性などの概要について紹介する｡

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