現場型診断装置 SignAiEdge

画面一覧

3つのカテゴリで全11画面にて構成・表示ができます。

設定

①診断ユニット

診断ユニット毎に有効/無効、収集周期等を設定

②診断パラメータ

診断に使用するパラメータの選択

③診断モデル

診断モデル作成用のデータを収集・作成

画面操作で設定の変更が行えます。(※一部の設定は専用ソフトウェア(V-SFT-6)で行う必要があります。)

設備の正常動作時のデータを利用してモデルを作成したり、診断に応じて、収集するパラメータやモデルの選択、診断の判定条件などの設定変更が行えます。

診断

④オーバービュー

全診断ユニットの状態監視

⑤メイン

診断中の状態表示画面。各パラメータの実測値、バッチ毎のQ値を表示

⑥履歴

「正常データ」「異常データ」の履歴を確認

リアルタイムで収集したデータや診断した結果をグラフ表示できます。

他にも、SignAiEdgeの動作状態を監視したり、過去に診断した結果を検索して閲覧することも可能です。

分析表示

⑦解析・寄与度

「異常」と診断した結果に対して寄与度が高い順にパラメータを表示

⑧診断パラメータ相関

診断パラメータ間の相関係数を表示

⑨基本統計量

各パラメータの過去10回分の統計量を表示

⑩ロットトレンド

ロット管理中の各診断で積み上げた計測値や診断結果の値を表示

⑪ロットアラーム履歴

ロット管理に「異常」と診断した結果の履歴を確認

分析用の画面を利用し、設備内のたくさんのパラメータの中から問題となるものを導き出すことで、異常原因の調査の深堀に役立ちます。

他にも、過去の診断結果の推移を見える化し、異常検出するまでの傾向を確認することが可能です。