富士モーションシステム異常診断ソリューション
MSPCの概要
診断の考え方
従来の診断方式である統計的プロセス管理（SPC）と違い、多変量統計的プロセス管理（MSPC）は正常モデルが示す相関関係からの“ずれ”を元に異常を検出し、個々のデータでは検出できない異常を検知します。
正常／異常の診断
正常モデルからの「ずれ」をしきい値で判定
システムの特長
お客様との課題解決により、磨き上げられた解析アルゴリズムです。
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因子数（注）の制約なしに、因子間の特長抽出が可能
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未知の異常でも検知可能
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連続系プロセスに加え、サイクル系プロセスデータの解析も可能
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注
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因子数：製造実績データ、設備稼働実績データ、検査結果データなどの各項目の数
サイクルMSPC
サイクル系プロセスでは平均プロファイルからの差異を因子間で相関分析することにより診断。
基本動作
サイクル開始を検出し、自動的にデータ収集～診断～結果表示を実施
